S49 33熱式質(zhì)量流量計，氣體質(zhì)量流量控制器
價格電議
- 所在地：北京 北京
- 發(fā)貨期：3天
- 發(fā)布時間 ：2014-07-11 13:35:23
產(chǎn)品詳情
主要技術指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標準狀態(tài) mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計)技術指標
|
編號 |
項目 |
S49 33/MT |
||
|
1 |
流量規(guī)格 |
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min |
(15,20,30) L/min |
|
|
2 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
|||
|
3 |
調(diào)節(jié)閥靜止位置 |
常閉 |
||
|
4 |
準確度 |
± 1.0% F.S |
± 2.0% F.S |
|
|
5 |
線性 |
±1.0 % F.S,±2.0 % F.S |
||
|
6 |
重復精度 |
±0.2 %F.S |
||
|
7 |
響應時間 |
≤8 s（T95） |
||
|
8 |
工作壓差范圍 |
(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa |
||
|
9 |
耐壓 |
3 MPa ﹑ 10 MPa |
||
|
10 |
工作環(huán)境溫度 |
5℃ ～ 45℃ |
||
|
11 |
材料 |
不銹鋼316L |
||
|
12 |
標準密封材料 |
Viton®﹑EPDM, 或其他 |
||
|
13 |
漏率 |
1×10-8 Pa.m3/s |
||
|
14 |
接頭 |
Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR), 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 |
||
|
15 |
輸入輸出信號 |
0 V ～ 5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) |
||
|
16 |
電源 |
15 V 50 mA -15V 200 mA |
||
|
17 |
外形尺寸 mm |
134×134×38 |
||
|
18 |
重量 kg |
1.2 |
||
注意： S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍,供用戶選擇,也可根據(jù)用戶提出流量定制。
