AALBORG氣體質量流量計

美國Aalborg, Aalborg氣體質量流量計, Aalborg控制器

美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上***的氣體質量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝,真空鍍膜, 材料科學 ,石油化工,醫(yī)藥,環(huán)保等領域。

產(chǎn)品特點：性價比高,響應速度快,可靠性高,易于集成,環(huán)路保護,備總量計數(shù)器

典型應用：CVD,PVD,刻蝕,等離子注入,濺射,ITO,玻璃鍍膜,表面處理等鍍膜工藝。

設計特點：
－剛性金屬結構
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－較大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
－可用作便攜式的設備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計算機

精度：±1.5％滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力�？蛇x±1％滿量程（標定精度）,在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性：±0.5％滿量程
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc,較小1000Ω。4-20mA,0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；較大200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms

氣體壓力：較大1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar）
流體接觸面材質：A：GFC鋁系列為陽較電鍍鋁,316不銹鋼,銅和氟橡膠圓環(huán)
B：GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列：316不銹鋼,氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）